我们一直渴望减少不同类型干式真空泵的物理尺寸。然而，这与真空泵的泵送速度相矛盾，后者与体积成正比。较小的物理尺寸意味着较小的体积。当然，影响干式真空泵抽速的另一个重要因素是速度。为了使小型真空泵的吸入速度与大型真空泵的吸入速度相匹配，需要提高速度。有两种方法可以改变干式真空泵的速度。一种是改变电源频率，即使用变频器；二是改变齿轮箱的传动比。其中，使用变频器的优点是可以提供闭环控制，但在重负载下容易造成扭矩损失。改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法。当然，它只能提供无法控制的单一速度。

干式真空泵的意外故障会降低机器效率，影响晶片的生产和交付，甚至导致晶片报废和其他零件的加工损坏。由于螺杆设计采用单级设计，与多级泵相比，使用的零件数量可以减少60%，如球槽、爪形和组合。这对于干式真空泵的稳定性和未来的维护成本是一个很大的优势。

一般来说，如果用户认为功耗对他们来说非常重要，那么选择内压螺杆干式真空泵可能是一个不错的选择，而氮含量对他们来说并不重要。但总的来说，废气处理的要求越来越严格，未来减少氮的使用尤为重要。如果你想在不使用简单的库存控制泵的情况下处理各种半导体工艺，外部压缩螺杆干式真空泵是更好的选择。

根据具体情况，结合上述所有设计类型的优点是理想的，但目前尚不可能。因此，用户需要了解干式真空泵的设计类型，然后根据自己的工艺特点了解不同类型泵设计的影响。这种选择可以降低干式真空泵的使用成本，获得更长的使用寿命和稳定的真空系统。